流量計
脫硫自動(dòng)化智(zhì)能數(shù)據控制系統
脈沖(chòng)袋式除塵器
智能轉速(sù)表
吹掃裝置
水位(wèi)監控儀
智能流量(liàng)積算儀
氧化(huà)锆氧(yǎng)量分(fèn)析儀
智能(néng)通(tōng)用數顯(xiǎn)儀
閃光報警器|音(yīn)響器(qì)
溫度巡測(cè)記錄儀
變送(sòng)器系列(liè)
電源(yuán)箱
節流(liú)裝置|平衡容器(qì)
電動操作顯示器
校驗(yàn)儀系列
汽輪機監視保護儀(yí)表
數據采集(jí)|熱網管理
工(gōng)業自動化(huà)儀表(biǎo)盤
水質(zhì)電參數(shù)測(cè)量儀(yí)
分析儀器(qì)傳感器(qì)電(diàn)極
無紙記錄儀
儀表(biǎo)保護保溫(wēn)箱
其他(tā)産品
除(chú)塵(chén)器自動化控制系統(tǒng)
壓差控制器
溫度儀表（熱(rè)電(diàn)阻、熱(rè)電偶(ǒu)）
智能化集(jí)成傳(chuán)感器(qì)
近年來，随(suí)着高(gāo)科技(jì)的不(bú)斷發展，對傳感(gǎn)器的要(yào)求越來(lái)越高(gāo)。爲了進一(yī)步提(tí)高(gāo)傳感器(qì)的性能，将(jiāng)敏感元件、信(xìn)号處理(lǐ)電路、微處理器(qì)等都集(jí)成(chéng)在一(yī)同一矽片(piàn)上，構(gòu)成智(zhì)能化集成(chéng)傳感器。這(zhè)是當(dāng)代傳(chuán)感器的發(fā)展方向。
智能化(huà)集成傳感器的(de)結構(gòu)一般(bān)都是三維器件，即立(lì)體結(jié)構。這種結構是在平(píng)面集成電路的基礎上，一(yī)層一(yī)層向(xiàng)立(lì)體(tǐ)方向制作(zuò)多層電路。它的制造方法基本(běn)上就是采(cǎi)用集(jí)成電路的制作(zuò)工藝，例如(rú)光刻(kè)、二氧化矽(xī)薄(báo)膜的生成、澱(diàn)積多(duō)晶矽、激(jī)光(guāng)退火(huǒ)、多晶矽轉(zhuǎn)爲單(dān)晶矽(xī)、pn結(jié)的(de)形成(chéng)等。zui終是在(zài)矽襯底上形成具有(yǒu)多層(céng)集成電路(lù)的立(lì)體(tǐ)器件，即(jí)敏感器件(jiàn)，也有(yǒu)微電腦電(diàn)路芯片，還可以(yǐ)将太(tài)陽能電池(chí)電源(yuán)制作(zuò)在其上面(miàn)，形成(chéng)智能化集(jí)成傳(chuán)感器。這種(zhǒng)傳感(gǎn)器具(jù)有人(rén)的五(wǔ)官(guān)與(yǔ)大腦(nǎo)相結合的功能(néng)，它(tā)不僅(jǐn)具有檢(jiǎn)測功能，還具有(yǒu)信号(hào)的分析與處理(lǐ)功(gōng)能(néng)，zui終能(néng)以數(shù)字的形式(shì)輸(shū)出信息。同時，它還可以(yǐ)自動(dòng)地進行溫漂、時(shí)漂、非(fēi)線(xiàn)性等的(de)校正。它的智能化程(chéng)度随着集(jí)成化密度(dù)的增(zēng)加而不(bú)斷地提(tí)高。
今(jīn)後，随(suí)着科學技術的進步(bù)，還将研制(zhì)出多(duō)功能(néng)的三維智能化集成(chéng)傳感(gǎn)器。這種(zhǒng)傳感器(qì)*可以做到(dào)檢測(cè)、邏輯(jí)和(hé)記(jì)憶等(děng)功能(néng)集成在一(yī)塊半(bàn)導體芯片上，同時，冷卻部(bù)分也(yě)可以制作在立(lì)體電路中(zhōng)，利用(yòng)帕耳貼效應來使電(diàn)路進(jìn)行冷卻(què)。這種多(duō)功能(néng)的智能化集成傳感器相(xiàng)當于一(yī)個人造細胞，可能完成(chéng)較爲複雜的功(gōng)能，它(tā)将爲高科(kē)技的(de)發展添光(guāng)增彩。由于智能(néng)化集(jí)成傳感器(qì)技術正在起飛(fēi)，因此，它勢必在未來(lái)的傳感器(qì)技術(shù)中起重要的作用，同(tóng)時，它(tā)的市場(chǎng)前(qián)景是(shì)十分(fèn)廣闊的。
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